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    江西净化工程对温度波动范围的要求也是越来越小

    江西净化工程的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但是在满足工艺要求的条件下,应该考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高、出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

    具体工艺对温度的要求以后还是要列举出来,但是作为总的原则来看的话,由于加工精度越来越精细、所以对温度波动范围的要求也是越来越小。

    例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中、作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小的。直径100 um的硅片、温度上升1度、就引起了0.24um线性膨胀、所以必须要有±0.1度的恒温、同时要求湿度值一般较低、因为人出汗以后、对产品将会有污染,特别是怕钠的半导体车间、这种车间不宜超过25度。

    湿度过高产生的问题更多的。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上是会结露,如果发生在精密装置或者电路中,就会引起各种的事故。相对湿度在50%时易生锈。

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